将化学气相沉积直接制备多晶硅薄膜方法与描述一一对应。（1）等离子增强化学气相沉积（2）低压化学气_可学国开电大

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将化学气相沉积直接制备多晶硅薄膜方法与描述一一对应。（1）等离子增强化学气相沉积（2）低压化学气相沉积（3）热丝化学气相沉积

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