将PECVD是充入气体与形成的半导体类型一一对应。（1）SiH4 （2）SiH4加PH3 （3）S_可学国开电大

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将PECVD是充入气体与形成的半导体类型一一对应。（1）SiH4 （2）SiH4加PH3 （3）SiH4加B2H6

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